特許

J-GLOBAL ID：200903024567386785

真空ウェブ・コーテング用方法及び装置

発明者： アイアン・ケンネス・バツクスター ,  チヤールス・アーサー・ビシヨツプ ,  デービツド・チヤールス・マツギー ,  ケイス・ワトキンス
出願人/特許権者： ジエネラル・バキユーム・エクイプメント・リミテツド ,  インペリアル・ケミカル・インダストリーズ・ピーエルシー
代理人 (1件)： 八木田 茂 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-274823
公開番号（公開出願番号）：特開平7-286265
出願日： 1994年11月09日
公開日（公表日）： 1995年10月31日
要約：

【要約】 (修正有)【目的】 蒸発を迅速に停止させて基板及び/またはコーテング材料を補充でき、不活性ガスは、冷却手段を通して循環させ、該不活性ガスの一部または全部を蒸気出口手段を通して蒸発手段内へ送り返すことが好適で、コーテング作業中の停止時間を十分に低減する。【構成】 ウエブ基板21上にコーテングとして蒸着させるための蒸気を生成するための蒸発器15は、蒸気出口手段29を有する蒸発手段15からなり、コーテング材料は手段15から手段29を通して運ばれて基板21に蒸着され、手段15は、さらに不活性ガスを送って材料の蒸気を抑え及び/または手段15を冷却するための手段を有する、真空ウエブ・コーテング用蒸発器。

請求項（抜粋）：

ウェブ基板(21)上に蒸着されるコーテング材料(36)を蒸発させるための蒸発手段(15、32)から成り、前記蒸発手段が、少なくとも一つの出口ノズルを有する蒸気出口手段を有し、蒸気を該出口ノズルを通して運び蒸着帯域(30)でウェブ基板(21)に蒸着される真空ウェブ・コーテング用蒸発器において、該蒸発手段へ不活性ガスを送って材料(36)の蒸発を抑え及び/または該蒸発手段を冷却する供給手段(15)を有することを特徴とする真空ウェブ・コーテング用蒸発器。

IPC (2件)：

C23C 14/24 ,  C23C 14/56