特許
J-GLOBAL ID：200903024582698610
プラズマ装置の運転方法
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
亀谷 美明 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-156284
公開番号（公開出願番号）：特開平6-342776
出願日： 1993年06月01日
公開日（公表日）： 1994年12月13日
要約：
【要約】【目的】 プラズマ装置のサセプタにトラップする水分を除去する。【構成】 本発明によれば、処理室4内が10-3Torr以下に減圧された後サセプタ20を超低温例えば-100°Cにまで冷却するので、水分の付着を最小限に抑えることができる。それでもサセプタ20に付着した水分は、サセプタ20の温度を水分の露点温度を境界にして上下に揺動させ、水分のトラップおよび蒸発排気を反復させることにより完全に除去することが可能である。
請求項（抜粋）：
プラズマ処理を行うための処理室と、その処理室内にあって被処理体を載置可能なサセプタと、そのサセプタに内設された加熱手段および冷却手段と、上記処理室内を真空引きするための排気手段とを備えたプラズマ装置において、上記排気手段により上記処理室内の圧力を10-3Torr以下に減圧した後、上記冷却手段により上記サセプタを-100°C以下にまで冷却することを特徴とする、プラズマ装置の運転方法。
IPC (7件)：
H01L 21/302
, C23C 14/00
, C23C 14/50
, C23C 16/50
, H01L 21/205
, H01L 21/324
, H01L 21/203
