特許
J-GLOBAL ID：200903024584636418
走査形電子顕微鏡における画像信号処理方法およびその装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
佐藤 隆久
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-323585
公開番号（公開出願番号）：特開平6-150866
出願日： 1992年11月09日
公開日（公表日）： 1994年05月31日
要約：
【要約】【目的】 走査形電子顕微鏡を走査してウェーハなどの検体の画像データを採取してその画像データに基づいて検体の検査を行う際、走査回数を少なくして一次電子の照射量を減少し、短時間で品質の高い画像データを得る画像信号処理方法を提供する。【構成】 パイロットとなる検体について、複数回走査形電子顕微鏡1を走査して画像データを採取し、その画像データから走査形電子顕微鏡1の推定電子光学鏡筒の相対特性関数ERFFを算出する(ステップS01)。検査対象となる検体について、上記パイロット検体の走査回数より少ない回数だけ走査形電子顕微鏡1を走査させて画像データを採取し、この画像データの劣化画像を上記推定電子光学鏡筒の相対特性関数ERFFを用いて補正する(ステップS02)。
請求項（抜粋）：
走査形電子顕微鏡をパイロット検体について複数回走査して得られたパイロット画像データから前記走査形電子顕微鏡の電子光学鏡筒の推定相対特性関数を算出する段階と、前記走査形電子顕微鏡を検査対象とする検体について前記パイロット検体を走査した回数より少ない回数だけ走査して検体画像データを得る段階と、前記検体画像データを前記推定相対特性関数を用いて修正する段階と、を有する走査形電子顕微鏡における画像信号処理方法。
IPC (4件)：
H01J 37/22
, G06F 15/62 405
, G06F 15/68 350
, H01J 37/28
