基板搬送装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：吉田茂明 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-052635
公開番号（公開出願番号）：特開平8-244930
出願日： 1995年03月13日
公開日（公表日）： 1996年09月24日
要約：

【要約】【目的】大きなサイズの基板を搬送する場合にも、搬送ローラ軸の自重による撓みによって搬送不良を生じることのない基板搬送装置。【構成】一対の側板2a、2bが相互に一定距離だけ離隔配置されて洗浄槽が構成されている。これらの側板2a、2bには、互いに対向する位置にころがり軸受40、40が取り付けられ、搬送ローラ50の軸60を回転自在に水平方向に支持する。この際、軸60の中央側を中空パイプ部64で構成しているので、搬送ローラ50の中央側の重量に起因して発生する撓みを減少させることができる。このため、軸60に基板Wを支持すべく設けた段付ローラ70、70が傾斜することを防止でき、搬送時における基板Wの支持不良を防止して搬送不良の発生を防止することができる。

請求項（抜粋）：

基板を水平に支持して搬送する基板搬送装置において、互いに一定間隔だけ離隔して対向配置された一対の側板と、両端部が一対の側板によってそれぞれ回転自在にかつ水平に支持され、中央側に中空部を有する搬送ローラ軸と、搬送ローラ軸に固定されて搬送ローラ軸とともに回転することにより、外周部に載置された基板を搬送する搬送ローラと、を備えることを特徴とする基板搬送装置。

IPC (6件)：

B65G 13/04 , B65G 49/07 , G02F 1/13 101 , G02F 1/1333 500 , H01L 21/304 341 , H01L 21/68

FI (6件)：

B65G 13/04 , B65G 49/07 B , G02F 1/13 101 , G02F 1/1333 500 , H01L 21/304 341 C , H01L 21/68 A

引用特許：

審査官引用 (2件)

基板搬送装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-239252 出願人：株式会社日立製作所, 日立デバイスエンジニアリング株式会社
特開平1-303260

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