硬質炭素膜及び硬質炭素膜被覆部材並びに硬質炭素膜生成方法

発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-009344
公開番号（公開出願番号）：特開平7-215795
出願日： 1994年01月31日
公開日（公表日）： 1995年08月15日
要約：

【要約】【構成】ダイヤモンドを含有する硬質炭素膜において、X線回折におけるダイヤモンドの(111)のピーク強度をIa、(220)のピーク強度をIb、(311)のピーク強度をIc、(400)のピーク強度をIdとしたとき、1≦Ib/Ia≦10、2≦Ib/Ic、2≦Ib/Idを満たす硬質炭素膜であり、このような硬質炭素膜は、炭素を含有する原料ガスを分解、プラズマ化し、基体表面に硬質炭素膜を形成する方法において、基体表面におけるプラズマの電子温度が8eV以下、電子密度が1×1011cm-3以上の条件で生成される。【効果】高い結晶性を有するダイヤモンドの結晶粒子を高い核生成密度で一定方向に配向させながら成長させているため、膜の表面が非常に平滑で、高耐摩耗性、高摺動性を具備した硬質炭素膜を得ることができる。

請求項（抜粋）：

ダイヤモンドを含有する硬質炭素膜において、X線回折におけるダイヤモンドの(111)のピーク強度をIa、(220)のピーク強度をIb、(311)のピーク強度をIc、(400)のピーク強度をIdとしたとき、1≦Ib/Ia≦10、2≦Ib/Ic、2≦Ib/Idを満たすことを特徴とする硬質炭素膜。

IPC (4件)：

C30B 29/04 , C23C 16/26 , C23C 16/50 , B23B 27/14

引用特許：

出願人引用 (4件)

特開昭63-307196
特開昭63-239195
特開昭63-316427

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審査官引用 (4件)

特開昭63-307196
特開昭63-239195
特開昭63-316427

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