特許
J-GLOBAL ID：200903024594995289
高強度を有するスパッタリング用焼結ターゲット材
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
富田 和夫 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-216970
公開番号（公開出願番号）：特開平7-054136
出願日： 1993年08月09日
公開日（公表日）： 1995年02月28日
要約：
【要約】【目的】 高強度を有するスパッタリング用焼結ターゲット材を提供する。【構成】 スパッタリング用焼結ターゲット材が、希土類元素のうちの1種または2種以上:20〜45重量%、Feおよび/またはFe系合金:残り、からなる配合組成、並びに分散相を形成するFeおよび/またはFe系合金粒の表面が、予めこれの表面に被覆されていた希土類元素との反応で形成された金属化合物層、あるいはこの金属化合物層と未反応の希土類元素層で包囲された組織を有するものからなる。
請求項（抜粋）：
希土類元素のうちの1種または2種以上:20〜45重量%、Feおよび/またはFe系合金:残り、からなる配合組成、並びに分散相を形成するFeおよび/またはFe系合金粒の表面が、予めこれの表面に被覆されていた希土類元素との反応で形成された金属化合物層で包囲された組織を有することを特徴とする高強度を有するスパッタリング用焼結ターゲット材。
IPC (2件)：
C23C 14/34
, C22C 38/00 302
