気密検査装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：石黒健二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-146306
公開番号（公開出願番号）：特開2000-337990
出願日： 1999年05月26日
公開日（公表日）： 2000年12月08日
要約：

【要約】【課題】各タンク内へ液体を短時間に液体を注入することができる気密検査装置の提供。【解決手段】気密検査装置Aは、加圧弁40を開弁状態にして各中空部への気体の注入を開始するとともに、第1排液弁21、第2排液弁22、および第1給液弁3、第2給液弁14を開弁状態にして、各タンクに洗浄油4を注入するにあたり、最初は流量切替弁8を開弁状態にするとともに第1センサ側弁28、第2センサ側弁37を閉弁状態にして高速度で注入し、ドレイン19から洗浄油4が排液され始めると、流量切替弁8を閉弁状態にするとともに第1センサ側弁28、第2センサ側弁37を開弁状態にして低速度で注入する。

請求項（抜粋）：

内部に中空部を有するワークを収納するためのワーク用タンクと、中空部の気密が完全なマスタを収納するためのマスタ用タンクと、前記ワーク用タンクの最上部から上方に延設する第1立設部、前記マスタ用タンクの最上部から上方に延設する第2立設部、および各立設部間を接続し中間にドレインを設けた接続部を有する連通管と、この連通管のワーク用タンク側およびマスタ用タンク側に設けた、第1排液弁および第2排液弁と、ワーク用タンク側の前記第1立設部に基端を接続し、末端方向が上方に延設する第1検査管と、この第1検査管に介設される第1センサ側弁と、この第1センサ側弁より上方に位置する前記第1検査管に接続される第1の大気開放弁と、マスタ用タンク側の前記第2立設部に基端を接続し、末端方向が上方に延設する第2検査管と、この第2検査管に介設される第2センサ側弁と、この第2センサ側弁より上方に位置する前記第2検査管に接続される第2の大気開放弁と、前記第1検査管の末端に一方側入力部を接続し、前記第2検査管の末端に他方側入力部を接続した差圧センサと、途中に加圧弁を介設し、上流端を気体供給源に接続し、下流端を前記ワークおよび前記マスタの各中空部に接続した気体供給管と、先端が前記ワーク用タンクの下部に接続され、途中に第1給液弁を介設した第1液体供給管と、先端が前記マスタ用タンクの下部に接続され、途中に第2給液弁を介設した第2液体供給管と、後端を液体供給源に接続し、先端を各液体供給管の後端に接続した、流量を切り替えるための流量切替回路とを備え、前記加圧弁を開弁状態にして各中空部への気体の注入を開始するとともに、前記第1、第2排液弁、および前記第1、第2給液弁を開弁状態にして前記ワーク用タンクおよび前記マスタ用タンクに液体を注入するにあたり、最初は前記流量切替回路を大流量側にするとともに前記第1、第2センサ側弁を閉弁状態にして高速度で注入し、前記ドレインから前記液体が排液され始めると、前記流量切替回路を小流量側にするとともに前記第1、第2センサ側弁を開弁状態にして低速度で注入し、安定状態になると、前記第1、第2排液弁を閉弁状態、前記第1、第2給液弁を閉弁状態にし、その後、前記第1、第2の大気開放弁を閉弁状態にして、第1検査管内の圧力と第2検査管内の圧力差を前記差圧センサにより計測して前記検査体の気密性を検査する気密検査装置。

Fターム (3件)：

2G067BB28 , 2G067BB31 , 2G067DD03

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