特許

J-GLOBAL ID：200903024602932763

材料表面検査装置

発明者： 守矢 一男
出願人/特許権者： 三井金属鉱業株式会社
代理人 (1件)： 岡部 正夫 (外11名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-128605
公開番号（公開出願番号）：特開平11-326233
出願日： 1998年05月12日
公開日（公表日）： 1999年11月26日
要約：

【要約】【課題】 ウエハ試料の表面を観察・検査する材料表面検査において、より高速かつ確実にウエハ試料の画像を取り込み、欠陥、キズ、異物等の個数を計測し、そのスループットを向上することができる材料表面検査装置を安価で提供する。【解決手段】 本発明においては、被検物体を搭載して移動可能なステージと、ステージ上の被検物体を照明する照明手段と、ステージの移動途中において、ステージに搭載された被検物体が所定位置に至ったとき、これに同期して、照明手段を閃光させる同期制御手段と、被検物体の一部分の像を画像データとして取り込む撮像手段と、撮像手段は、少なくとも1個の撮像素子を含み、撮像素子には所定数の画像データが重ねて記録され、画像データに基づいて被検物体の欠陥を評価する画像処理手段とを有し、所定数の画像データに基づいて被検物体の欠陥を評価する。

請求項（抜粋）：

被検物体の表面を観察・検査する材料表面検査装置であって、該被検物体を搭載して移動可能なステージと、該ステージ上の被検物体を照明する照明手段と、前記ステージの移動途中において、該ステージに搭載された該被検物体が所定位置に至ったとき、これに同期して、前記照明手段を閃光させる同期制御手段と、該被検物体の一部分の像を画像データとして取り込む撮像手段と、前記撮像手段は、少なくとも1個の撮像素子を含み、該撮像素子には所定数の該画像データが重ねて記録され、該画像データに基づいて該被検物体の欠陥を評価する画像処理手段とを有し、該所定数の画像データに基づいて該被検物体の欠陥を評価することを特徴とする材料表面検査装置。

IPC (2件)：

G01N 21/88 ,  H01L 21/66

FI (4件)：

G01N 21/88 E ,  H01L 21/66 J ,  H01L 21/66 L ,  H01L 21/66 Z

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 特開昭56-064435
  
• 特開昭55-144533