特許
J-GLOBAL ID：200903024603577657
ソリッドステート撮像装置用の無機材料からなるレンズアレイの形成方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
志賀 正武 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-055087
公開番号（公開出願番号）：特開平10-073703
出願日： 1997年03月10日
公開日（公表日）： 1998年03月17日
要約：
【要約】【課題】 フォトダイオードに導かれる光線量を増加させる、ソリッドステート撮像装置用レンズアレイを形成する方法を提供すること。【解決手段】 撮像装置の製造方法であって、(a)半導体基板を与える工程と、(b)半導体基板内に複数の離間された撮像用画素を形成する工程と、(c)撮像用画素上に誘電層100を付着させ、化学-機械的研磨を用いて誘電層100を光学的に平坦にして、光学的平坦面100aを形成する工程と、(d)光学的平坦面100aに、複数の凹部122cを形成する工程と、(e)光学的平坦面100a上にレンズ材料を均一に付着させて、凹部122cを完全に充填する工程と、(f)レンズ材料を成形してレンズ132cを形成する工程とを有する。
請求項（抜粋）：
(a)半導体基板を設ける工程と、(b)該半導体基板内に複数の離間された撮像用画素を形成する工程と、(c)該撮像用画素上に誘電層を付着させ、化学-機械的研磨を用いて前記誘電層を光学的に平坦にして、光学的平坦面を形成する工程と、(d)該光学的平坦面に、複数の凹部を形成する工程と、(e)前記光学的平坦面上にレンズ材料を均一に付着させて、前記凹部を完全に充填する工程と、(f)前記レンズ材料を成形する工程とを有することを特徴とする撮像装置の製造方法。
IPC (5件)：
G02B 3/00
, C03C 15/00
, C03C 19/00
, H01L 27/14
, H04N 5/335
G02B 3/00 A
, C03C 15/00 Z
, C03C 19/00 Z
, H04N 5/335 U
, H01L 27/14 D
