特許

J-GLOBAL ID：200903024603893516

半導体装置及び半導体装置の製造方法

発明者： 西山 彰
出願人/特許権者： 株式会社東芝
代理人 (1件)： 外川 英明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-333117
公開番号（公開出願番号）：特開2004-172178
出願日： 2002年11月18日
公開日（公表日）： 2004年06月17日
要約：

【課題】ソース/ドレインの抵抗を低く、トランジスタの駆動力を高く保ちつつ浅いPN接合を備えるMIS型電界効果トランジスタ及びその製造方法の提供。【解決手段】シリコン基板と、シリコン基板の表面に形成されたゲート絶縁膜と、ゲート絶縁膜上に形成されたゲート電極と、シリコン基板の前記ゲート絶縁膜の両側に形成されたソース/ドレイン拡散層と、ソース/ドレイン拡散層上に形成された金属酸化物を含有する膜と、金属酸化物を含有する膜上に形成された、不純物を含有する多結晶シリコン膜とを備えることを特徴とする半導体装置。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

シリコン基板と、 前記シリコン基板の表面に形成されたゲート絶縁膜と、 前記ゲート絶縁膜上に形成されたゲート電極と、 前記ゲート絶縁膜の両側の前記シリコン基板に形成されたソース/ドレイン拡散層と、 前記ソース/ドレイン拡散層上に形成された金属酸化物を含む膜と、 前記金属酸化物を含む膜上に形成された、不純物を含む多結晶シリコン膜とを備えることを特徴とする半導体装置。

IPC (5件)：

H01L29/78 ,  H01L21/225 ,  H01L21/8238 ,  H01L27/092 ,  H01L29/417

FI (5件)：

H01L29/78 301S ,  H01L21/225 P ,  H01L27/08 321E ,  H01L27/08 321F ,  H01L29/50 M

Fターム (112件)：

4M104AA01 ,  4M104BB01 ,  4M104CC01 ,  4M104CC05 ,  4M104DD29 ,  4M104DD91 ,  4M104EE02 ,  4M104EE03 ,  4M104EE09 ,  4M104EE11 ,  4M104EE12 ,  4M104EE16 ,  4M104EE17 ,  4M104FF06 ,  4M104FF14 ,  4M104FF26 ,  4M104GG09 ,  4M104GG10 ,  4M104HH16 ,  5F048AA01 ,  5F048AA07 ,  5F048AB03 ,  5F048AC01 ,  5F048AC03 ,  5F048BA01 ,  5F048BA16 ,  5F048BB05 ,  5F048BB08 ,  5F048BB11 ,  5F048BC01 ,  5F048BE03 ,  5F048BF01 ,  5F048BF03 ,  5F048BF06 ,  5F048BF11 ,  5F048BF16 ,  5F048BG13 ,  5F048DA23 ,  5F048DA27 ,  5F048DA28 ,  5F048DA30 ,  5F140AA10 ,  5F140AA13 ,  5F140AA39 ,  5F140AB03 ,  5F140AC14 ,  5F140AC23 ,  5F140AC36 ,  5F140BA01 ,  5F140BC06 ,  5F140BD11 ,  5F140BD13 ,  5F140BD15 ,  5F140BD17 ,  5F140BE10 ,  5F140BE13 ,  5F140BE15 ,  5F140BE17 ,  5F140BF01 ,  5F140BF03 ,  5F140BF04 ,  5F140BF05 ,  5F140BF08 ,  5F140BF11 ,  5F140BF18 ,  5F140BG08 ,  5F140BG09 ,  5F140BG10 ,  5F140BG11 ,  5F140BG12 ,  5F140BG14 ,  5F140BG15 ,  5F140BG28 ,  5F140BG30 ,  5F140BG34 ,  5F140BG37 ,  5F140BG38 ,  5F140BG40 ,  5F140BG44 ,  5F140BG45 ,  5F140BG46 ,  5F140BG52 ,  5F140BG53 ,  5F140BG56 ,  5F140BG58 ,  5F140BJ03 ,  5F140BJ10 ,  5F140BJ11 ,  5F140BJ14 ,  5F140BJ17 ,  5F140BJ18 ,  5F140BJ20 ,  5F140BJ21 ,  5F140BJ25 ,  5F140BK13 ,  5F140BK15 ,  5F140BK16 ,  5F140BK20 ,  5F140BK25 ,  5F140BK28 ,  5F140BK29 ,  5F140BK30 ,  5F140BK32 ,  5F140BK34 ,  5F140BK38 ,  5F140BK39 ,  5F140CB04 ,  5F140CB08 ,  5F140CC03 ,  5F140CC12 ,  5F140CE07 ,  5F140CF04