共重合体

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-166866
公開番号（公開出願番号）：特開2005-023092
出願日： 2003年06月11日
公開日（公表日）： 2005年01月27日
要約：

【課題】溶剤への溶解性が優れた樹脂、レジスト組成物に適したこのような樹脂の製造方法、高感度で高解像度であり、溶液中のマイクロゲルの少ないレジスト組成物、並びにこのレジスト組成物を用いた高感度で高解像度のパタ-ン形成方法を提供する【解決手段】式(1)で表される構成単位を含有し、特定のラクトン骨格を有する構成単位を含有する共重合体。【化1】(式(1)中、Rは水素原子またはメチル基を表す。)重合することにより本発明の共重合体の構成単位となる単量体および重合開始剤を有機溶剤に溶解させた溶液を、重合温度に加熱された有機溶剤中に滴下しながら重合を行う前記共重合体の製造方法。前記共重合体を含有するレジスト組成物。前記レジスト組成物を被加工基板上に塗布する工程と、250nm以下の波長の光で露光する工程と、現像液を用いて現像する工程とを有するパタ-ン形成方法。

請求項（抜粋）：

式(1)で表される構成単位を含有し、式(2-1)〜(2-6)からなる群より選ばれる少なくとも一種のラクトン骨格を有する構成単位を含有する共重合体。

IPC (4件)：

C08F220/18 , C08F220/28 , G03F7/039 , H01L21/027

FI (4件)：

C08F220/18 , C08F220/28 , G03F7/039 601 , H01L21/30 502R

Fターム (33件)：

2H025AA01 , 2H025AA02 , 2H025AB16 , 2H025AC04 , 2H025AC08 , 2H025AD03 , 2H025BE00 , 2H025BE10 , 2H025BG00 , 2H025BJ01 , 2H025CB14 , 2H025CB41 , 2H025CB55 , 2H025CB56 , 2H025FA17 , 4J100AJ02R , 4J100AL08P , 4J100AL08Q , 4J100AL08R , 4J100AM02R , 4J100AM15R , 4J100BA03R , 4J100BA11Q , 4J100BA16R , 4J100BA29R , 4J100BA40R , 4J100BC08R , 4J100BC09P , 4J100BC09R , 4J100BC53Q , 4J100CA04 , 4J100CA05 , 4J100JA38

引用特許：

審査官引用 (2件)

酸感応性化合物及びフォトレジスト用樹脂組成物
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-135623 出願人：ダイセル化学工業株式会社
ポジ型レジスト組成物
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-383801 出願人：富士写真フイルム株式会社

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