電子線照射装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：奥山尚男 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-110760
公開番号（公開出願番号）：特開平7-318698
出願日： 1994年05月25日
公開日（公表日）： 1995年12月08日
要約：

【要約】【目的】径が大きく特に断面形状が単純でない試料の場合であっても、一基の加速器により試料の全周から同時に電子線を一回で照射し得て能率的な電子線照射を行なうことができ、電子線照射技術の産業応用対象の範囲を拡大できるような電子線照射装置を提供する。【構成】試料18の中心軸を取り囲む環状領域に沿って複数の電子源(電子銃7)を配置し、これらの複数の電子源7からそれぞれ放出される電子を試料18の中心軸に向けて加速するための直流電場または高周波電場を発生せしめるように構成する。

請求項（抜粋）：

試料の中心軸を取り囲む環状領域に沿って複数の電子源を配置し、前記複数の電子源からそれぞれ放出される電子を前記試料の中心軸に向けて加速するための直流電場または高周波電場を発生せしめるように構成したことを特徴とする電子線照射装置。

IPC (4件)：

G21K 5/04 , C23C 14/30 , G21K 5/10 , H01J 37/06

引用特許：

審査官引用 (4件)

特開昭48-007591
特開昭64-006400
特開昭48-007591

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