特許
J-GLOBAL ID：200903024626458523
姿勢センサ
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
田北 嵩晴
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-163877
公開番号（公開出願番号）：特開平6-347473
出願日： 1993年06月10日
公開日（公表日）： 1994年12月22日
要約：
【要約】【目的】 構成が簡単で多方向の姿勢変化を検知することができる姿勢センサ。【構成】 101は第1の重り部、102は検出用の第1の梁部、103は第2の重り部、104は検出用の第2の梁部、105はシリコン単結晶基板、106は枠部、107はエッチング除去して形成した空隙部、108は検知部、109は第1の梁の歪方向、110は第2の梁の歪方向である。第1の梁部102及び第2の梁部104には重力により、静的力が加わっており、センサの向きを変えることにより、各梁の変位量が変わる。第1の梁部102は109の方向に重力を受けたとき最大となり、第2の梁部104は110の方向に重力を受けたとき歪量が最大となる。第1の梁部102は、歪の中立面の両側に形成した検出部108である圧電体の起電力により歪量を、第2の梁部104は第2の重り部103の対抗する面に設けた電極と、第2の重り部103との間の容量変化を検出することにより歪量を求めた。
請求項（抜粋）：
特定方向に歪変形しやすい構造をなす第1の梁部、該第1の梁部に結合し、第1の梁部の変形方向と異なる向きに歪変形し易い構造をなす少なくとも一つ以上の梁部で構成され、各々の梁部が基体のエッチングにより一体形成されて成る構造であって、各々の梁部の歪量を検出する検出部を有し、各々の検出部の歪信号をローパスフィルタを透過させた後、この信号値を比較することにより、センサの向きを検知することを特徴とする姿勢センサ。
IPC (3件)：
G01P 15/06
, G01B 7/16
, G01L 1/00
