特許

J-GLOBAL ID：200903024629486250

X線光学素子

発明者： 北村 優 ,  藤原 重徳 ,  片山 雅弘
出願人/特許権者： 株式会社東芝
代理人 (1件)： 須山 佐一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-328473
公開番号（公開出願番号）：特開2001-141893
出願日： 1999年11月18日
公開日（公表日）： 2001年05月25日
要約：

【要約】【課題】 優れたピーク反射率と積分反射率を有しX線反射特性の制御が容易なX線素子を提供すること。【解決手段】 酸素イオンまたは炭素イオンを注入されたSi結晶からなるX線光学素子。

請求項（抜粋）：

酸素イオンまたは炭素イオンを注入されたSi結晶からなることを特徴とするX線光学素子。

IPC (3件)：

G21K 1/06 ,  G21K 1/00 ,  H05H 13/04

FI (6件)：

G21K 1/06 D ,  G21K 1/06 B ,  G21K 1/06 C ,  G21K 1/06 Z ,  G21K 1/00 X ,  H05H 13/04 U

Fターム (5件)：

2G085AA13 ,  2G085DB01 ,  2G085EA01 ,  2G085EA04 ,  2G085EA07