無電解めっき装置及びめっき方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：京本直樹 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-229127
公開番号（公開出願番号）：特開平10-072678
出願日： 1996年08月29日
公開日（公表日）： 1998年03月17日
要約：

【要約】【課題】被めっき面にコブ状の異常析出が発生する。【解決手段】めっき槽1の底部全体に直径5〜100μmの微細気泡を発生させる微細気泡発生源2と、長径1〜3cmの大気泡を発生させる大気泡発生源3とを設け、気泡によりめっき液5を攪拌しながらプリント配線板7にめっきを行う際に、微細気泡の通気量をめっき液1lに対して1〜2l/minとする。

請求項（抜粋）：

めっき槽の底部全体に設けられ直径5〜100μmの微細気泡を発生させる微細気泡発生源と、この微細気泡発生源の上部に所定の距離を隔てて設けられ直径1〜3cmの大気泡を発生させる大気泡発生源とを含むことを特徴とする無電解めっき装置。

IPC (3件)：

C23C 18/40 , C23C 18/16 , H05K 3/18

FI (3件)：

C23C 18/40 , C23C 18/16 C , H05K 3/18 G

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