特許

J-GLOBAL ID：200903024640330904

ウエハ把持装置

発明者： 富田 正道 ,  細田 祐司 ,  鉾谷 義雄
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所
代理人 (1件)： 沼形 義彰 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-263818
公開番号（公開出願番号）：特開2000-100920
出願日： 1998年09月18日
公開日（公表日）： 2000年04月07日
要約：

【要約】【課題】 静電チャックに載置されるウエハの把持装置の改良を図る。【解決手段】 ウエハ処理評価装置のウエハ固定用静電チャック12の側面部に平面断面の3箇所の切り欠き4を設置して、グリッパ6に3個の段付き位置決めピン9を設けた。またこれと別に静電チャック51の側面部に円柱状の3箇所の切り欠き52を設置して、ウエハ搬送機構の開閉可能なグリッパ53に3個の段付き位置決めピン56を設けた。この構成により、静電チャック12のグリッパ6からの逃げ用切り欠き4の面積を小さくでき、特に静電チャック12の中央部14を切り欠く必要が無いので、静電チャック12の吸着能力が向上し、吸着時のウエハ7の変形とそれに起因する描画精度または検査精度の低下を防止できる。

請求項（抜粋）：

ステージ上にウエハ固定装置を備え、かつウエハを上記ウエハ固定装置上に搬送して載置させるウエハ搬送機構を備えたウエハ処理評価装置のウエハ把持装置において、ウエハとの接触面がウエハの外形に全て収まる形状を有するウエハ固定装置と、3個の位置決めピンを設けたウエハ搬送機構のグリッパを備えたことを特徴とするウエハ把持装置。

Fターム (9件)：

5F031CC12 ,  5F031CC32 ,  5F031CC43 ,  5F031CC45 ,  5F031FF03 ,  5F031KK04 ,  5F031KK09 ,  5F031LL01 ,  5F031LL07