特許

J-GLOBAL ID：200903024644493310

テスト方法及びそれに用いるソケット及び半導体装置

発明者： 辻井 利之
出願人/特許権者： 三菱電機株式会社
代理人 (1件)： 宮田 金雄 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-373241
公開番号（公開出願番号）：特開2001-183416
出願日： 1999年12月28日
公開日（公表日）： 2001年07月06日
要約：

【要約】【課題】 ソケットのコンタクタによるインピータンスのミスマッチを防ぐ半導体装置及びそのテスト装置及びそれを用いるテスト方法を得ることである。【解決手段】 BOST用LSI8及びDUT7を同一のソケット12に装着し、BOST用LSI8の電極及びDUT7の電極を直接コンタクトさせる。

請求項（抜粋）：

BOSTによるテスト方法において、第1の半導体装置及び第2の半導体装置を同一のソケットに装着し、前記第1の半導体装置の電極及び前記第2の半導体装置の電極を直接コンタクトさせてテストを行うテスト方法。

IPC (2件)：

G01R 31/26 ,  G01R 1/073

FI (2件)：

G01R 31/26 J ,  G01R 1/073 B

Fターム (20件)：

2G003AA07 ,  2G003AE03 ,  2G003AE06 ,  2G003AF06 ,  2G003AG01 ,  2G003AG07 ,  2G003AG08 ,  2G003AG12 ,  2G003AH04 ,  2G003AH05 ,  2G003AH09 ,  2G011AA10 ,  2G011AA15 ,  2G011AB01 ,  2G011AB08 ,  2G011AC14 ,  2G011AC32 ,  2G011AC33 ,  2G011AE03 ,  2G011AF02