特許
J-GLOBAL ID：200903024644910352

センサ素子及び振動波センサ

発明者：
原田 宗生

原田 宗生 について


出願人/特許権者：
住友金属工業株式会社

住友金属工業株式会社 について


代理人 (1件)： 河野 登夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-005695
公開番号（公開出願番号）：特開2000-205940
出願日： 1999年01月12日
公開日（公表日）： 2000年07月28日
要約：
【要約】【課題】 支持体に一端を支持された板状の検出子に、これの一面に形成された被膜の作用により生じる振動阻害を抑制し得るセンサ素子を提供し、このセンサ素子を用いることにより、センサ特性及び検出精度に優れた振動波センサを提供する。【解決手段】 支持体としての横断ビーム3、及びこれに支持された検出子としてのカンチレバー5,5...の一面を覆う被膜9の形成域を、カンチレバー5,5...の根元部近傍に検知部として設けられたピエゾ抵抗6,6...の形成部分、これに付随する回路配線としての出力線7,7...及び給電線8の形成部分に限り、カンチレバー5,5...の先端側に被膜9の非形成域を設けて、この被膜9の作用による各カンチレバー5,5...の振動阻害を抑制する。
請求項（抜粋）：
板状の支持体と、該支持体に支持された板状の共振子とを備え、これらの一方の面に被膜を形成して構成されたセンサ素子において、前記一方の面の少なくとも前記共振子の一部に、前記被膜の非形成域を備えることを特徴とするセンサ素子。
Fターム (13件)：
2G064AA11 ,  2G064AB01 ,  2G064AB02 ,  2G064AB14 ,  2G064AB16 ,  2G064BA02 ,  2G064BA05 ,  2G064BA08 ,  2G064BD04 ,  2G064BD05 ,  2G064BD33 ,  2G064BD43 ,  2G064DD32
引用特許：
出願人引用 (2件) 審査官引用 (2件)

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