特許
J-GLOBAL ID：200903024651175978
表面形状測定装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
佐藤 正年 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-070238
公開番号（公開出願番号）：特開平7-260471
出願日： 1994年03月16日
公開日（公表日）： 1995年10月13日
要約：
【要約】【目的】 測定子による被測定面に対して垂直方向の接触変形量を常に一定にすることにより精度の高い表面形状測定ができる表面形状測定装置を得ること。【構成】 測定子を、被測定物の傾斜角度変化のある曲面上を移動させて接触点の三次元座標を検出することによって被測定物の表面形状を測定する表面形状測定装置に、被測定物表面の測定子による接触測定点の傾斜角度情報を入力する入力手段と、測定子の接触による被測定面に対して垂直方向の接触変形量を一定にするよう、前記入力手段により得られた傾斜角度情報に基づいて、測定子の被測定物表面に対する接触圧力を制御する制御手段とを備え、接触圧力をP、傾斜角度をθ、傾斜角度が0の時の接触圧力をP0 としたとき、P=P0 /cosθを満足するものである。
請求項（抜粋）：
測定子を、被測定物の傾斜角度変化のある曲面上を移動させて接触点の三次元座標を検出することによって前記被測定物の表面形状を測定する表面形状測定装置であって、前記被測定物表面の前記測定子による接触測定点の傾斜角度情報を入力する入力手段と、前記測定子の接触による該測定子と被測定物との接触変形量の和を被測定面に対して垂直な方向で一定になるよう、前記入力手段により得られた傾斜角度情報に基づいて、前記測定子の前記被測定物表面に対する測定力を制御する制御手段と、を備え、前記制御手段が、前記測定力をP、前記傾斜角度をθ、傾斜角度が0の時の測定力をP0 としたとき、以下の式を満足することを特徴とする表面形状測定装置。P=P0 /cosθ
IPC (2件)：
G01B 21/20 101
, G01B 21/20
