特許

J-GLOBAL ID：200903024658957726

原子間力顕微鏡

発明者： 末 吉 孝
出願人/特許権者： 日本電子株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-042863
公開番号（公開出願番号）：特開平8-240602
出願日： 1995年03月02日
公開日（公表日）： 1996年09月17日
要約：

【要約】【目的】 極めて簡単にアライメント操作が行える機構を備えた新規な原子間力顕微鏡を提供する。【構成】 2色発光ダイオード29Aが赤色に、29Bが緑色に発光していると、反射レーザー光のスポットPがセンサー6A上に位置している。押し捩子8XによりX移動台7Xを-X方向に移動させ、センサー6BをスポットPに近付ける。センサー6Aの出力信号Vaが小さくなり、6Bの出力信号Vbが大きくなり、VaとVbが等しくなると、ダイオード29Aと29Bが共に黄色に発光し、スポットPがセンサー6Aと6Bに均等に掛かる位置に来た事が分かる。押し捩子8YによりY移動台7Yを+Y方向に移動させ、センサー6C,6DがスポットPに近付く様にする。2色発光ダイオード29EのアノードT1の赤色発光が低下し、2色発光ダイオード29C,29Dが黄色に発光し、全ての発光ダイオードが黄色発光する。この時に移動台の移動を止め、フォトディテクター6のアライメントを終了する。

請求項（抜粋）：

試料に対向した探針を支持したカンチレバーと、該カンチレバーに光を照射するための光源と、前記カンチレバーで反射した光を感知するセンサーと、前記試料と探針とを相対的に3次元駆動するための駆動機構を備え、前記センサは2次元的に移動可能に成されており、且つ、互いに独立に4分割されている原子間力顕微鏡であって、前記センサーの出力により発光する発光器を前記各センサーに対応させて設け、前記反射光の各センサー上の位置に応じて該各発光表示器の発光状態が変化する様に成した原子間力顕微鏡。

IPC (3件)：

G01N 37/00 ,  G01B 21/30 ,  H01J 37/28

FI (3件)：

G01N 37/00 F ,  G01B 21/30 Z ,  H01J 37/28 Z