特許
J-GLOBAL ID：200903024666136278
基板保持装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
木内 修
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-252569
公開番号（公開出願番号）：特開平7-083999
出願日： 1993年09月14日
公開日（公表日）： 1995年03月31日
要約：
【要約】【目的】 基板ホルダに被測定基板を変形させずに確実に保持させる。【構成】 この発明の基板保持装置1は、被測定基板12を水平に支持するための複数の突起部10を表面に有した基板ホルダ3を具備する基板保持装置において、基板ホルダ3に被測定基板12が支持されているときに基板ホルダ3に微振動を与える微振動発生装置2を更に具備する。
請求項（抜粋）：
被測定基板を水平に支持するための複数の突起部を表面に有した基板ホルダを具備する基板保持装置において、前記基板ホルダに前記被測定基板が支持されている時に前記基板ホルダに微振動を与える微振動発生手段を更に具備することを特徴とする基板保持装置。
IPC (4件)：
G01R 31/26
, G01R 31/28
, H01L 21/66
, H01L 21/68
