特許
J-GLOBAL ID：200903024672486213
加速度センサ
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-353073
公開番号（公開出願番号）：特開平10-170538
出願日： 1996年12月13日
公開日（公表日）： 1998年06月26日
要約：
【要約】【課題】 X軸、Y軸、Z軸方向の検出感度の等しい加速度センサを得る。【解決手段】 板状の可撓部材と、該可撓部材の表面に貼付される電極を設けた圧電素子と、該可撓部材に直接または間接的に貼付される重錘体と、該可撓部材の外周を直接または間接的に支持する支持部材を有する加速度センサにおいて、板状の可撓部材の内部に原点を定義し、この原点を通り該可撓部材の平面に平行な方向にX軸を、原点においてX軸と直交し、かつ、該可撓部材の平面に平行な方向にY軸を、原点を通り、かつ、該可撓部材の平面に垂直な方向にZ軸をそれぞれ定義したとき、前記重錘体がX軸方向に振れる共振周波数と、Y軸方向に振れる共振周波数と、Z軸方向に振れる共振周波数との差を共振周波数に対して10%以下にする。
請求項（抜粋）：
板状の可撓部材と、該可撓部材の表面に貼付される電極を設けた圧電素子と、該可撓部材に直接または間接的に貼付される重錘体と、該可撓部材の外周を直接または間接的に支持する支持部材を有する加速度センサにおいて、板状の可撓部材の内部に原点を定義し、この原点を通り該可撓部材の平面に平行な方向にX軸を、原点においてX軸と直交し、かつ、該可撓部材の平面に平行な方向にY軸を、原点を通り、かつ、該可撓部材の平面に垂直な方向にZ軸をそれぞれ定義したとき、前記重錘体がX軸方向に振れる共振周波数と、Y軸方向に振れる共振周波数と、Z軸方向に振れる共振周波数との差が共振周波数に対して10%以下であることを特徴とする加速度センサ。
IPC (2件)：
FI (2件)：
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