特許
J-GLOBAL ID：200903024681257928
走査型力顕微鏡
発明者：
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-347690
公開番号（公開出願番号）：特開平6-201371
出願日： 1992年12月28日
公開日（公表日）： 1994年07月19日
要約：
【要約】【目的】 大気中においても動作可能なFM方式走査型力顕微鏡を提供すること。【構成】 カンチレバー1の変位検出に光てこを用い、その周波数検出にフェイズ・ロックド・ループを用いたFM検波器7を用いる。【効果】 大気中で動作可能なり、調整容易かつ安価な装置を提供できる。
請求項（抜粋）：
a)尖端を有するバネ状のカンチレバーと、b)前記カンチレバーの尖端を試料表面に沿って走査する手段と、c)前記カンチレバーの変位を検出する手段と、d)前記カンチレバー変位信号を増幅する手段と、e)前記カンチレバー変位信号で前記カンチレバーを励振するための手段と、f)フェイズ・ロックド・ループを用いた、前記カンチレバー変位信号の周波数を検出する手段と、g)前記カンチレバー変位信号周波数と目標周波数との差を検出する手段と、h)前記カンチレバー・試料表面間距離を調節する手段とを有することを特徴とする走査型力顕微鏡。
IPC (3件)：
G01B 21/30
, G01B 11/30
, H01J 37/28
