特許

J-GLOBAL ID：200903024695851970

ハンド機構

発明者： 石川 直樹 ,  本岡 直人
出願人/特許権者： 富士通株式会社
代理人 (1件)： 井桁 貞一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-153935
公開番号（公開出願番号）：特開平5-345290
出願日： 1992年06月15日
公開日（公表日）： 1993年12月27日
要約：

【要約】 (修正有)【目的】 ベアチップの剥離に際して、ベアチップまたは基板に対して損傷が生じることのないようにする。【構成】 所定方向に回動すると共に、垂直方向に昇降する円柱状の保持部1と、接着剤9によって基板8に固着したベアチップ10の側端を挟持する爪部3と表面10Aを吸着する吸引穴4と該ベアチップを加熱するヒータ5とを有する先端部2を有し、一方が該保持部に固定し、他方が自在に該先端部に係止し、かつ、該保持部の回動を該先端部に伝達するガイドシャフト6の外周に配設されることで該保持部と該先端部との間に張架されるスプリング7とを備え、前記保持部の降下によりベアチップの表面を吸着して前記ヒータによって所定温度に加熱し、加熱後、該スプリングにより該保持部を上昇させ、回動させて固着した該ベアチップを剥離する。

請求項（抜粋）：

軸芯(C) を中心として所定方向(A) に回動されると共に、垂直方向(Z) に昇降される円柱状の保持部(1) と、接着剤(9) によって基板(8) に固着されたベアチップ(10)の側端を挟持する爪部(3) と該ベアチップ(10)の表面(10A) を吸着する吸引穴(4) と該ベアチップ(10)を加熱するヒータ(5) とを有する先端部(2) と、一方が該保持部(1) に固着され、他方がスライド自在に該先端部(2) に係止され、かつ、該保持部(1) の回動を該先端部(2) に伝達するガイドシャフト(6) と、該ガイドシャフト(6) の外周に配設されることで該保持部(1)と該先端部(2) との間に張架されるスプリング(7) とを備え、前記保持部(1) の降下により前記ベアチップ(10)の表面(10A) を前記先端部(2) に吸着させることで前記ヒータ(5) によって所定温度に加熱し、加熱後、該スプリング(7) によるバネ力が該先端部(2) に作用する如く、該保持部(1) を上昇させ、該先端部(2) に該バネ力が加わる状態にすることで該保持部(1) を回動させ、前記接着剤(9) によって固着された該ベアチップ(10)を剥離するリペアを行うことを特徴とするハンド機構。

IPC (2件)：

B25J 15/06 ,  H05K 13/00

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 特開昭61-170092
  
• 特公昭55-026595