特許

J-GLOBAL ID：200903024702876151

加速度センサ、加速度センサの取付構造および製造方法

発明者： 小西 浩之 ,  宇都宮 道人 ,  内藤 和文
出願人/特許権者： 株式会社イシダ
代理人 (1件)： 杉本 修司 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-202849
公開番号（公開出願番号）：特開平7-035766
出願日： 1993年07月22日
公開日（公表日）： 1995年02月07日
要約：

【要約】【目的】 小型でかつ検出精度の良い加速度センサを提供する。【構成】 起歪体1には、2箇所の可撓部21aを有するビーム部20が、固定剛体部10と慣性質量部11との間に互いに平行に2枚溶接してある。ビーム部20は、表面に歪みゲージ23が直接形成された薄板21により構成されている。可撓部21aは、溝24をエッチング加工することにより形成されている。

請求項（抜粋）：

2箇所の可撓部が形成されたビーム部を、一端の固定部と他端の慣性質量部との間に、互いに平行に2本設けた起歪体と、上記ビーム部の可撓部に設けられた歪みゲージとを備えた加速度センサであって、上記固定部および慣性質量部はブロックで形成され、上記ビーム部は金属製の薄板で形成されているとともに、ビーム部の両端部が上記ブロックに固定されている加速度センサ。

引用特許：

出願人引用 (4件)

• 特開昭60-214227
  
• 特開昭61-181928
  
• 特開平3-204977
  
• 特開昭59-042401
  

審査官引用 (4件)

• 特開昭60-214227
  
• 特開昭61-181928
  
• 特開平3-204977
  
• 特開昭59-042401