特許
J-GLOBAL ID：200903024708852912
照射窓
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
成田 擴其
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-051301
公開番号（公開出願番号）：特開平6-242299
出願日： 1993年02月18日
公開日（公表日）： 1994年09月02日
要約：
【要約】【目的】 窓箔でのエネルギー損失を大きくし、被照射物の表面線量を高め、透過深さを小さくすること。【構成】 真空チャンバ1に取り付けられた照射窓5は多数の水冷桟52を有する。水冷桟の上面部は電子源2の電子引出し口21の面と平行し、窓箔6が接触する水冷桟の下面部は電子引出し口面に対して傾き角θを持たせて構成されている。水冷桟上方の等電位面は水冷桟上面部と平行し、電子源からの電子線は曲がらずに水冷桟の間の開口部を通り、窓箔を斜めに透過する。電子線は、窓箔でエネルギーが低減され、窓箔面と平行に搬送される被照射物8に斜めに入射する。被照射物における表面線量が高まり、透過深さは小さくなり、被照射物における照射劣化が生ずる部分への電子線照射を抑えることができる。
請求項（抜粋）：
窓箔に接触する多数の水冷桟を有する照射窓において、前記水冷桟は、その上面部が電子源の電子引出し口面と平行に、そして窓箔に接触する下面部が前記電子引出し口面に対して傾きを持たせて、構成されていることを特徴とする照射窓。
IPC (2件)：
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