特許
J-GLOBAL ID：200903024709448031
位置検出方法及び位置検出装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
三好 秀和 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-049579
公開番号（公開出願番号）：特開平6-258045
出願日： 1993年03月10日
公開日（公表日）： 1994年09月16日
要約：
【要約】【目的】 本発明は、通常顕微鏡及び干渉顕微鏡光学系を用いて取得された検査対象物の観察画像データから、対称性を有する対象パターンの位置を精度良く検出することのできる位置検出方法及び位置検出装置を提供することを目的とする。【構成】 光学的検出手段を用いて得られる検査対象の観察画像が略線対称であるときに、当該観察画像の位置を検出する位置検出装置であって、当該観察画像の線対称の一方の側に特定される第1の所定領域の画像を反転して当該第1の所定領域に係る基準画像を設定する第1の設定手段と、この第1の設定手段で設定された基準画像を基にして、他方の側に特定される第2の所定領域を設定する第2の設定手段と、これら第1の所定領域の位置と第2の所定領域の位置との中心位置から当該観察画像の位置を検出する検出手段とを備えて構成される。
請求項（抜粋）：
光学的検出手段を用いて得られる検査対象の観察画像が略線対称であるときに、当該観察画像の位置を検出する際に、当該観察画像の線対称の一方の側に特定される第1の所定領域を設定し、この設定された第1の所定領域を基準にして、他方の側に特定される第2の所定領域を検出し、これら第1の所定領域と第2の所定領域との中心位置から当該観察画像の位置を検出することを特徴とする位置検出方法。
IPC (5件)：
G01B 11/24
, G01B 11/00
, G03F 9/00
, H01L 21/027
, H01L 21/66
H01L 21/30 301 V
, H01L 21/30 301 M
