特許

J-GLOBAL ID：200903024710596818

キャリアの位置決め機構

発明者： 横元 隆
出願人/特許権者： 大日本スクリーン製造株式会社
代理人 (1件)： 小谷 悦司 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-240641
公開番号（公開出願番号）：特開2000-068354
出願日： 1998年08月26日
公開日（公表日）： 2000年03月03日
要約：

【要約】【課題】 キャリアが相違しても、正確に位置決めすることができ、かつ、優れたメンテナンス性を発揮するようにする。【解決手段】 互いに所定間隔だけ離隔して設けられた第1係合部材41および第2係合部材42で複数の基板Bを収納する基板収納部を支えるキャリア1を、テーブル101上で位置決めする機構であって、上記テーブル101上に載置されたキャリア1の第1および第2足部111c,110c間に挟まれるように配置され、その一方が上記左足部110cに対向するとともに、右足部111cが他方に対向する2つの係合部材42,41と、上記2つの係合部材41,42の間隔を広げ、各係合部材41,42をそれぞれ対応する足部に係合させて上記キャリア1を位置決めするクランパー5とを備えている。

請求項（抜粋）：

互いに所定間隔だけ離隔して設けられた第1および第2の足部で複数の基板を収納する基板収納部を支えるキャリアを、テーブル上で位置決めする機構であって、上記テーブル上に載置されたキャリアの第1および第2の足部の間に挟まれるように配置され、その一方が上記第1の足部に対向するとともに、その他方が上記第2の足部に対向する2つの係合部材と、上記2つの係合部材の間隔を広げ、各係合部材をそれぞれ対応する足部に係合させて上記キャリアを位置決めするクランプ駆動手段とを備えたことを特徴とするキャリアの位置決め機構。

IPC (3件)：

H01L 21/68 ,  B65G 1/00 537 ,  B65G 49/07

FI (3件)：

H01L 21/68 A ,  B65G 1/00 537 A ,  B65G 49/07 L

Fターム (22件)：

3F022AA08 ,  3F022BB09 ,  3F022CC02 ,  3F022DD01 ,  3F022DD06 ,  3F022EE05 ,  3F022FF26 ,  3F022GG01 ,  3F022KK18 ,  3F022KK20 ,  3F022MM11 ,  3F022NN12 ,  5F031BB01 ,  5F031CC01 ,  5F031CC20 ,  5F031CC63 ,  5F031EE01 ,  5F031EE03 ,  5F031HH05 ,  5F031HH09 ,  5F031KK02 ,  5F031MM10