特許
J-GLOBAL ID：200903024716308067
位置検出装置及び露光装置
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-005938
公開番号（公開出願番号）：特開平10-185512
出願日： 1990年07月05日
公開日（公表日）： 1998年07月14日
要約：
【要約】【課題】 マスクと基板とを精度良くアライメントする。【解決手段】 基板上に形成されたアライメントマークの相対走査方向の幅を規定する一対のマークエッジ部の夫々の位置で極値となる電気光学的走査装置の出力信号の極値波形の内側に存在する一対のスロープ波形部分に基づいて前記アライメントマークの位置を決定する第1モードと、その極値波形の外側に存在する一対のスロープ波形部分に基づいてアライメントマークの位置を決定する第2モード、その極値波形の内側と外側の両方に存在するスロープ波形部分に基づいてアライメントマークの位置を決定する第3モードとから選択される1つのモードを利用してマスクと基板とをアライメントする。
請求項（抜粋）：
基板上に幾何学的、又は光学的な差異を伴って形成されたアライメントマークから生じる光情報を電気光学的走査装置によって光電検出し、該アライメントマークの相対走査方向に関して強度変化する時系列的な光電信号を処理することによって前記アライメントマークの相対走査方向の位置を決定する方法において、前記アライメントマークの相対走査方向の幅を規定する一対のマークエッジ部の夫々の位置で極値となる前記光電信号を前記電気光学的走査装置から得る工程と;該2つの極値波形の内側に存在する一対のスロープ波形部分に基づいて前記アライメントマークの位置を決定する第1決定工程と;前記2つの極値波形の外側に存在する一対のスロープ波形部分に基づいて前記アライメントマークの位置を決定する第2決定工程と;前記2つの極値波形の内側と外側の両方に存在するスロープ波形部分に基づいて前記アライメントマークの位置を決定する第3決定工程と;前記第1決定工程、第2決定工程、及び第3決定工程のうちいずれか1つの工程を、前記基板の目標とするアライメント精度に応じて選択する工程とを含むことを特徴とする基板のアライメント方法。
IPC (3件)：
G01B 11/00
, G02F 1/1333 500
, H01L 21/027
G01B 11/00 C
, G02F 1/1333 500
, H01L 21/30 525 F
