蛍光X線分析方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：縣浩介
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-146902
公開番号（公開出願番号）：特開平6-331575
出願日： 1993年05月26日
公開日（公表日）： 1994年12月02日
要約：

【要約】【目的】蛍光X線分析で、試料中の蛍光X線強度の弱い成分も強い成分も共に精度よく分析できる方法。【構成】感度を高く設定して蛍光X線の波長走査を行って、蛍光X線強度の低い成分の分析を行うと共に検出される蛍光X線の検出出力を或る一つの設定値と比較し、その設定値以上の範囲について感度を下げて再度分析を行う。以下同様のことを繰り返して行く。【作用,効果】試料中の微量成分も多量成分も夫々が最適感度で分析でき、試料の分析精度が向上する。

請求項（抜粋）：

X線検出器の検出出力に対して一つの基準値を設定しておき、励起X線強度の設定或は分析装置のX線光路中に挿入する減衰器の減衰率の設定によって分析装置の感度を或る値に設定し、その感度を基準とし、測定波長範囲を走査して蛍光X線の検出出力を記憶し、その検出出力が上記基準値を超えている波長範囲について、分析装置の感度を上記基準感度より下げて走査を行って蛍光X線の検出出力を記憶し、この回の検出出力が上記基準値を超えている範囲について、更に分析装置の感度を下げて走査を行って蛍光X線の検出出力を記憶すると云う動作を測定範囲中の最大蛍光X線強度の範囲が上記基準値内に納まるまで繰り返し、夫々の走査段階におけるX線検出器の検出出力にその段階の分析装置感度に対する上記基準感度の倍率を掛けて、全測定範囲にわたって上記基準感度における蛍光X線強度を算出することを特徴とする蛍光X線分析方法。

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