特許

J-GLOBAL ID：200903024733949599

シリコンマイクロチャネル光学フローサイトメータ

発明者： アルテンドルフ,エリック エイチ. ,  イエガー,ポール
出願人/特許権者： ユニバーシティ オブ ワシントン
代理人 (1件)： 山本 秀策
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-513705
公開番号（公開出願番号）：特表平11-513486
出願日： 1996年09月27日
公開日（公表日）： 1999年11月16日
要約：

【要約】本発明は、フローサイトメータ光ヘッドおよび使い捨てフローモジュールの2つの構成部材で構成されるフローサイトメータを提供する。フローモジュールは、シリコンウェハ内に微細加工されたV字溝フローチャネルを用いる。光ヘッドは、照射ビームを提供するレーザーと、小角度および大角度光検出器とを有する。V字溝の異方性エッチング小面(facets)が照射ビームを反射する。小角度散乱光もV字溝壁によって反射され、小角度光検出器によって収集される。大角度散乱光および蛍光は、反射せずにチャネルから出ることができ、大角度光検出器によって収集される。さらに、蛍光は、V字溝によって後方反射させることが可能であり、これにより、収集効率が高められる。本発明は、粒子含有流体を分析する方法および流体フロー内の粒子の速度を測定する方法をさらに含む。

請求項（抜粋）：

フローサイトメータ光ヘッドと共に使用される使い捨てフローモジュールであって、 表面を有するシリコンウェハであって、 (1)該表面の平面内にある幅wの上部と、該ウェハ内に形成された第1および第2の壁とを有するV字溝フローチャネル、 (2)該V字溝の第1の端部に結合される流体インレットポート、 (3)該V字溝の第2の端部に結合される流体アウトレットポート、および、 (4)該V字溝と該光ヘッドとの再現可能な光学的アラインメントを伴って、該フローモジュールを該光ヘッドに取外し可能に結合するモジュールアラインメント手段、 が形成されたウェハと、 該ウェハの該表面にシールされ、該V字溝は覆うが該アラインメント手段は覆わない透明カバープレートと、を備えた、フローモジュール。

IPC (4件)：

G01N 15/14 ,  G01N 21/05 ,  G01N 21/64 ,  G01N 33/49

FI (5件)：

G01N 15/14 Z ,  G01N 15/14 D ,  G01N 21/05 ,  G01N 21/64 Z ,  G01N 33/49 H