特許

J-GLOBAL ID：200903024736723028

バイアホール検査装置

発明者： 岡 浩司 ,  安藤 護俊
出願人/特許権者： 富士通株式会社
代理人 (1件)： 柏谷 昭司 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-319983
公開番号（公開出願番号）：特開平6-167461
出願日： 1992年11月30日
公開日（公表日）： 1994年06月14日
要約：

【要約】【目的】 絶縁体薄膜層に形成されたバイアホールの形状不整、絶縁体残渣等の欠陥を検知するバイアホール検査装置に関し、形状、残渣を確実に検知する。【構成】 配線基板(25,26)の上の絶縁体薄膜層(27)にバイアホール(28)が形成された検査対象に複数の波長の光を照射し、この検査対象から反射された各波長の反射光の強度に対応する検知信号(x1 ,x2 ,x3 )を、設定された基準レベル(y1 ,y2 ,y3 )により2値化信号(Y1 ,Y2 ,Y3)とし、この各波長の2値化信号(Y1 ,Y2 ,Y3 )の間で論理演算を施す(P)ことによって絶縁体残渣を検知する。この場合、反射光を空間フィルタリングすることによって検知信号のS/N比を向上することができる。また、絶縁体と配線層からの反射光の強度比が最も大きい波長の光に対応する検知信号によってバイアホールの形状不整を高解像度で検査することができる。

請求項（抜粋）：

配線基板上の絶縁体薄膜層にバイアホールが形成された検査対象に複数の波長λ<SB>1 </SB>,λ<SB>2 </SB>,λ<SB>3 </SB>,・・・からなり、λ<SB>1 </SB><λ<SB>2 </SB><λ<SB>3 </SB><・・・の関係を有する光を照射する手段と、該検査対象からの反射光を各波長毎に検知して反射光強度に対応する検知信号を得る手段と、該各検知信号を設定された基準レベルにより2値化して2値化信号を得る手段と、該2値化信号の間で論理演算を施す手段を有することを特徴とするバイアホール検査装置。

IPC (3件)：

G01N 21/88 ,  H01L 21/66 ,  H01S 3/00