特許
J-GLOBAL ID：200903024737875760
枚葉式の熱処理装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
浅井 章弘
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-016405
公開番号（公開出願番号）：特開平11-204442
出願日： 1998年01月12日
公開日（公表日）： 1999年07月30日
要約：
【要約】【課題】 シャワーヘッド部のガス噴射面の温度を均一化させることができる枚葉式の熱処理装置を提供する。【解決手段】 処理容器18内に収容された被処理体Wに対して所定の熱処理を施す枚葉式の熱処理装置において、下端に開口部20を有する真空引き可能になされた筒体状の処理容器18と、上端に前記被処理体を載置する載置面28が形成されると共に下端に前記処理容器の開口部を密閉するフランジ部32が形成された有天井の筒体状の載置台24と、前記処理容器内へ所定の処理ガスを導入するために前記載置面に対向して設けられると共に前記載置面に対向するガス噴射面に温調媒体を流すシャワー温調媒体通路112が形成されたシャワーヘッド部46と、前記被処理体を加熱するために前記筒体状の載置台の内部に設けられた加熱手段38とを備えるように構成する。これにより、シャワーヘッド部のガス噴射面の温度を均一化させる。
請求項（抜粋）：
処理容器内に収容された被処理体に対して所定の熱処理を施す枚葉式の熱処理装置において、下端に開口部を有する真空引き可能になされた筒体状の処理容器と、上端に前記被処理体を載置する載置面が形成されると共に下端に前記処理容器の開口部を密閉するフランジ部が形成された有天井の筒体状の載置台と、前記処理容器内へ所定の処理ガスを導入するために前記載置面に対向して設けられると共に前記載置面に対向するガス噴射面に温調媒体を流すシャワー温調媒体通路が形成されたシャワーヘッド部と、前記被処理体を加熱するために前記筒体状の載置台の内部に設けられた加熱手段とを備えたことを特徴とする枚葉式の熱処理装置。
IPC (4件)：
H01L 21/205
, C23C 16/48
, H01L 21/22 511
, H01L 21/31
H01L 21/205
, C23C 16/48
, H01L 21/22 511 S
, H01L 21/31 B
