特許
J-GLOBAL ID：200903024743188545
自動分析電子顕微鏡
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
高橋 明夫 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-202314
公開番号（公開出願番号）：特開平6-052819
出願日： 1992年07月29日
公開日（公表日）： 1994年02月25日
要約：
【要約】【構成】透過型電子顕微鏡、エネルギー分散型X線分析装置、電子エネルギー損失分光装置、収束電子線回折装置を備えた分析電子顕微鏡において、分析評価する対象の種類、位置、方向を自動的に認識する手段と、分析のために電子顕微鏡を自動的に調整する手段と、分析を自動的に行う手段を備え、前記各手段の制御を中央演算装置により制御するよう構成された自動分析電子顕微鏡。【効果】分析操作に熟練した技術者を必要とせず、高精度な分析が容易にできる。
請求項（抜粋）：
透過型電子顕微鏡、エネルギー分散型X線分析装置、電子エネルギー損失分光装置、収束電子線回折装置を備えた分析電子顕微鏡において、分析評価する対象の種類、位置、方向を自動的に認識する手段と、分析評価のために電子顕微鏡を自動的に調整する手段と、分析を自動的に行う手段を備え、前記各手段の制御を中央演算装置により制御するよう構成したことを特徴とする自動分析電子顕微鏡。
IPC (3件)：
H01J 37/26
, H01J 37/295
, H01J 49/26
