特許

J-GLOBAL ID：200903024749049962

圧力センサ

発明者： 川口 晃司
出願人/特許権者： 株式会社アマダ
代理人 (1件)： 三好 秀和 (外8名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-013360
公開番号（公開出願番号）：特開2000-214020
出願日： 1999年01月21日
公開日（公表日）： 2000年08月04日
要約：

【要約】【課題】 油圧式パンチプレス等において、高圧のサージ圧が作用した場合に圧力を検出するダイアフラム部に塑性変形を生じることのない圧力センサを提供する。【解決手段】 センサ本体37内に塑性変形を生じることのない台板31を設け、この台板31に半導体歪みゲージ34を備えた半導体ダイアフラム部33を設け、且つ、流体圧を台板31に作用せしめるための圧力導入部をセンサ本体37に設ける。そして、半導体ダイアフラム部33の変形量の大小に応じて電流の変化に変換し増幅させ、且つ、ディジタル信号に変換するICチップ39をセンサ本体37に備える。

請求項（抜粋）：

センサ本体内に塑性変形を生じることのない台板を設け、この台板に半導体歪みゲージを備えた半導体ダイアフラム部を設け、且つ、流体圧を前記台板に作用せしめるための圧力導入部を前記センサ本体に設けたことを特徴とする圧力センサ。

Fターム (8件)：

2F055AA11 ,  2F055BB19 ,  2F055CC02 ,  2F055DD05 ,  2F055EE13 ,  2F055FF11 ,  2F055GG11 ,  2F055HH05