特許
J-GLOBAL ID:200903024749257603
ガラスのエッチング方法、透明導電基板の製造方法および光電変換素子
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (4件):
志賀 正武
, 高橋 詔男
, 渡邊 隆
, 青山 正和
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2004-271630
公開番号(公開出願番号):特開2006-083036
出願日: 2004年09月17日
公開日(公表日): 2006年03月30日
要約:
【課題】 危険性の高い薬品を用いずに簡便かつ精密にガラスエッチングを行う。【解決手段】 ガラス基材1の表面2にニッケル層3をパターン形成したのち、得られたニッケル層3付きガラス基材を加熱して、前記ニッケル層3に付着したガラス基材1の表面部分とともにニッケル層3を自然剥離させる。これにより、ガラス基材1の表面2にパターン状の凹部11が形成される。【選択図】 図6
請求項(抜粋):
ガラス基材の表面にニッケル層をパターン形成したのち、ニッケル層付きガラス基材を加熱して、前記ニッケル層に付着したガラス基材の表面部分とともに前記ニッケル層を自然剥離させることを特徴とするガラスのエッチング方法。
IPC (4件):
C03C 15/00
, H01B 13/00
, H01M 14/00
, H01L 31/04
FI (4件):
C03C15/00 Z
, H01B13/00 503D
, H01M14/00 P
, H01L31/04 Z
Fターム (18件):
4G059AA08
, 4G059AB01
, 4G059AB05
, 4G059AB07
, 4G059AB09
, 4G059AC01
, 4G059BB08
, 5F051AA14
, 5G323CA01
, 5H032AA06
, 5H032AS16
, 5H032AS19
, 5H032BB05
, 5H032BB06
, 5H032BB10
, 5H032CC11
, 5H032EE07
, 5H032EE18
引用特許: