特許
J-GLOBAL ID：200903024749751152
酸化珪素の製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
生形 元重 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-290386
公開番号（公開出願番号）：特開平9-110412
出願日： 1995年10月11日
公開日（公表日）： 1997年04月28日
要約：
【要約】【目的】 EB照射によりプラスチックフィルムに酸化珪素を蒸着する場合の蒸着材料として好適な酸化珪素を製造する。【構成】 原料珪素1をヒータ6により加熱蒸発させて、基体4の表面に酸化珪素7を析出させる。基体4として、表面組織を粗に処理した金属を用いる。原料珪素1の中に、ヒータ6により効率よく加熱される発熱体あるいは熱伝導体3を設置する。析出した酸化珪素7の表面が平坦になる。その酸化珪素7を基体4から剥離させるときに、酸化珪素7が砕けない。
請求項（抜粋）：
原料珪素を加熱蒸発させて基体の表面に蒸着させる酸化珪素の製造方法において、前記基体として表面組織を粗に処理した金属を使用することを特徴とする酸化珪素の製造方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
C01B 33/12 Z
, B01J 19/00 L
