特許
J-GLOBAL ID：200903024751813700
走査型光学顕微鏡装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
奈良 武
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-258492
公開番号（公開出願番号）：特開平11-095114
出願日： 1997年09月24日
公開日（公表日）： 1999年04月09日
要約：
【要約】【課題】 光源からの光、試料からの反射光、蛍光の光損失がない走査型光学顕微鏡装置を提供する。【解決手段】 光源1からの光を直線偏光に変換する偏光板13と、この偏光板13からの直線偏光を円偏光に変換して試料6に導き試料6からの反射光を前記直線偏光と直交する方向の偏光に変換する4分の1波長板10と、偏光板13と4分の1波長板10との間に配置され直線偏光成分の光とこれと直交する偏光成分の光に分割する偏光ビームスプリッタ14と、この偏光ビームスプリッタ14と4分の1波長板10との間の光路に配置され前記試料からの反射光と前記試料からの蛍光を分割するダイクロイックミラー12とを有し、試料6からの4分の1波長板10を経た反射光のみをダイクロイックミラー12及び偏光ビームスプリッタ14で分割させて前記第1の光検出器8aにより検出し、前記試料6からの蛍光のみをダイクロイックミラー12で分割させて前記第2の光検出器8bにより検出するものである。
請求項（抜粋）：
光源と、この光源からの光を試料上に集光させる集光光学系と、前記試料からの反射光を検出する第1の光検出器と、前記試料からの蛍光を検出する第2の光検出器とを有し、前記光源からの光を試料上でスポット走査し、試料からの反射光、蛍光をポイント検出する走査型光学顕微鏡装置において、前記光源からの光を直線偏光に変換する偏光板と、この偏光板からの直線偏光を円偏光に変換して前記試料に導くとともに試料からの反射光を前記偏光板からの直線偏光と直交する方向の偏光に変換する偏光素子と、前記偏光板と偏光素子との間の光路に配置され直線偏光成分の光とこの直線偏光と直交する偏光成分の光に分割する偏光ビームスプリッタと、この偏光ビームスプリッタと前記偏光素子との間の光路に配置され、前記試料からの反射光と前記試料からの蛍光を分割する波長依存光分割素子と、を有し、前記試料からの偏光素子を経た反射光のみを波長依存光分割素子及び偏光ビームスプリッタで分割させて前記第1の光検出器により検出し、前記試料からの蛍光のみを前記波長依存光分割素子で分割させて前記第2の光検出器により検出すること、を特徴とする走査型光学顕微鏡装置。
IPC (4件)：
G02B 21/00
, G01N 21/21
, G01N 21/27
, G02B 21/16
G02B 21/00
, G01N 21/21 Z
, G01N 21/27 E
, G02B 21/16
