特許

J-GLOBAL ID：200903024760705979

ネガ型感光性樹脂組成物

発明者： 金田 隆行
出願人/特許権者： 旭化成株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-311833
公開番号（公開出願番号）：特開2003-121997
出願日： 2001年10月09日
公開日（公表日）： 2003年04月23日
要約：

【要約】【課題】 露光時の感度、及び現像時の基板との接着性に優れるとともに、感光性樹脂組成物を室温で保管した際に、析出及び感度低下が起こらない、5-メルカプトテトラゾール化合物を含むネガ型耐熱性感光性樹脂組成物を提供する。【解決手段】 (A)1位の位置に嵩高い官能基を有する5-メルカプトテトラゾール化合物、(B)ポリイミド前駆体、ポリベンズオキサゾール前駆体、又はこれらの共重合体、(C)光重合開始剤、及び(D)希釈溶剤を含有する感光性樹脂組成物。

請求項（抜粋）：

(A)下記化学式(1)で示される5-メルカプトテトラゾール化合物、(B)ポリイミド前駆体、ポリベンズオキサゾール前駆体、又はこれらの共重合体、(C)光重合開始剤、及び(D)希釈溶剤を含有する感光性樹脂組成物。【化1】(式中、Rは、第四級炭素を有する炭素数4〜12の一価の有機基、又は脂環式構造を有する炭素数5〜12の一価の有機基である。)

IPC (5件)：

G03F 7/004 501 ,  G03F 7/028 ,  G03F 7/038 501 ,  G03F 7/40 501 ,  H01L 21/027

FI (5件)：

G03F 7/004 501 ,  G03F 7/028 ,  G03F 7/038 501 ,  G03F 7/40 501 ,  H01L 21/30 502 R

Fターム (24件)：

2H025AA01 ,  2H025AA14 ,  2H025AB16 ,  2H025AB17 ,  2H025AC01 ,  2H025AD01 ,  2H025BC14 ,  2H025BC69 ,  2H025BC70 ,  2H025CA01 ,  2H025CA28 ,  2H025CA30 ,  2H025CC03 ,  2H025FA03 ,  2H025FA17 ,  2H025FA29 ,  2H096AA25 ,  2H096AA27 ,  2H096BA06 ,  2H096BA20 ,  2H096EA02 ,  2H096GA08 ,  2H096HA01 ,  2H096JA04