特許
J-GLOBAL ID：200903024763697330
片真空ゲートバルブ
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
堀 宏太郎 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-052545
公開番号（公開出願番号）：特開平10-231939
出願日： 1997年02月21日
公開日（公表日）： 1998年09月02日
要約：
【要約】【課題】 従来の真空ゲート弁よりも小型で構造が簡単な片真空ゲートバルブを提供することを課題とする。【解決手段】 片真空ゲートバルブの枠体10に開口部が配設され、リフトシリンダ18A,18Bによって枠体10に沿って上下動されるゲート弁体14が枠体の前側に配設され、ゲート弁体14の下降位置でゲート弁体14が開口部に向けて押圧されるように構成されている。ゲート弁体14の前面に2個のリフトシリンダ18A,18Bのシリンダチューブ19A,19Bが連結され、枠体10の上端部及び下端部の各2箇所に板バネ15A〜Dの一端部が固定され、板バネ15A〜Dの他端部が2個のリフトシリンダ18A,18Bのピストンロッド20AU,20BUの両端部に連結されている。
請求項（抜粋）：
枠体に開口部が配設され、リフトシリンダによって枠体に沿って枠体から離れた状態で上下動されるゲート弁体が枠体の前側に配設され、ゲート弁体の下降位置でゲート弁体が開口部に向けて押圧されるように構成された片真空ゲートバルブにおいて、ゲート弁体の前面に2個のリフトシリンダのシリンダチューブが連結され、枠体の上端部及び下端部の各2箇所に板バネの一端部が固定され、板バネの他端部が2個のリフトシリンダのピストンロッドの両端部に連結されたことを特徴とする片真空ゲートバルブ。
IPC (3件)：
F16K 3/02
, F16K 3/18
, F16K 51/02
F16K 3/02 F
, F16K 3/18 B
, F16K 51/02 B
