特許

J-GLOBAL ID：200903024770294543

昇温脱離分析装置

発明者： 籔本 周邦
出願人/特許権者： 日本電信電話株式会社
代理人 (1件)： 鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-062151
公開番号（公開出願番号）：特開平6-275231
出願日： 1993年03月22日
公開日（公表日）： 1994年09月30日
要約：

【要約】【目的】 本発明の目的は、加熱により試料から脱離する成分を高感度に検出することができるようにした昇温脱離分析装置を提供することにある。【構成】 真空容器中で試料を熱源により加熱し、前記試料から脱離する分子や原子を質量分析器で測定する装置において、前記試料に対して前記熱源を上方ないしは斜め前方に離隔して設置すると共に、前記質量分析器を前記試料に対して前記熱源の対角線上以外の斜め前方に近接して設置することを特徴とする。

請求項（抜粋）：

真空容器中で試料を熱源により加熱し、前記試料から脱離する分子や原子を質量分析器で測定する装置において、前記試料に対して前記熱源を上方ないしは斜め前方に離隔して設置すると共に、前記質量分析器を前記試料に対して前記熱源の対角線上以外の斜め前方に近接して設置することを特徴とする昇温脱離分析装置。

IPC (3件)：

H01J 49/04 ,  G01N 21/35 ,  G01N 27/62

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開平3-057951
  
• 特開平2-115761
  
• 特開平4-048254