特許

J-GLOBAL ID：200903024771876309

自動焦点合わせ装置

発明者： 三田村 茂宏
出願人/特許権者： 株式会社島津製作所
代理人 (1件)： 竹本 松司 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-355926
公開番号（公開出願番号）：特開2000-182555
出願日： 1998年12月15日
公開日（公表日）： 2000年06月30日
要約：

【要約】【課題】 自動焦点合わせ装置において、焦点合わせに要する時間を短縮し、焦点合わせの精度を高める。【解決手段】 自動焦点合わせ装置1、焦点位置の検出精度を異にする評価手段11,12を備え、これらの評価手段を組み合わせて焦点合わせを行う。焦点位置の検出精度が粗の評価手段11、焦点位置を広い範囲で検索して得られる評価値を用いて短時間で粗い焦点合わせを行い、焦点位置の検出精度が精の評価手段12は、粗の評価手段11で得られた焦点位置の近傍を狭範囲で検索して得られる評価値を用いて、高精度で焦点合わせを行う。特性の異なる評価値を組み合わせることによって、焦点合わせに要する時間を短縮すると共に、焦点合わせの精度を高める。

請求項（抜粋）：

画像データに基づいて得られる評価値を用いて焦点合わせのパラメータを変更して焦点合わせを行う自動焦点合わせ装置であって、焦点位置の検出精度を異にする評価手段を複数備え、焦点位置の検出精度が粗の評価手段は、広範囲で評価値を得て粗の焦点合わせを行い、焦点位置の検出精度が精の評価手段は、粗の評価手段で得られた焦点位置の近傍において狭範囲で評価値を得て焦点合わせを行う、自動焦点合わせ装置。

IPC (4件)：

H01J 37/21 ,  G02B 7/28 ,  G03F 7/207 ,  H01L 21/027

FI (7件)：

H01J 37/21 A ,  H01J 37/21 B ,  H01J 37/21 Z ,  G03F 7/207 H ,  G02B 7/11 M ,  G02B 7/11 N ,  H01L 21/30 541 F

Fターム (18件)：

2H051AA10 ,  2H051AA11 ,  2H051BA47 ,  2H051CE14 ,  2H051CE21 ,  2H051DA26 ,  2H051DD20 ,  2H051FA47 ,  2H051FA48 ,  5C033LL03 ,  5C033MM03 ,  5F056AA01 ,  5F056BA06 ,  5F056BB10 ,  5F056BC05 ,  5F056CA02 ,  5F056CB32 ,  5F056EA05

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開昭56-041663
  
• 自動焦点調整方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-284877   出願人：株式会社ニコン
• 合焦位置検出装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-209798   出願人：株式会社ニコン
• 特開平2-103853