特許

J-GLOBAL ID：200903024774322231

自動焦点調節装置

発明者： 古味 秀人
出願人/特許権者： 株式会社島津製作所
代理人 (1件)： 縣 浩介
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-180337
公開番号（公開出願番号）：特開平5-003013
出願日： 1991年06月24日
公開日（公表日）： 1993年01月08日
要約：

【要約】【目的】 試料面を走査して2次元像を形成する装置、例えばEPMA,走査型電子顕微鏡等で凹凸試料を調べる場合、その凹凸に従って焦点合わせを行う。【構成】 試料面の複数点で合焦検出を行い、その点の焦点距離のデータを記憶しておき、試料面の各点の焦点距離を上記データから補間計算により算出し、この算出データにより焦点調節をしながら試料面の走査を行う。

請求項（抜粋）：

試料面を荷電粒子ビームで走査する型の試料分析装置において、試料面の指定された複数の点において焦点検出を行う手段と、同手段により検出された上記各点の焦点距離を記憶しておく手段と、同じ試料面の分析時に、試料面走査に従い試料面の各点の焦点距離のデータを上記記憶する手段内のデータから補間的に算出する手段と、この算出されたデータに基づいて焦点調節を行う手段とよりなる自動焦点調節装置。

IPC (2件)：

H01J 37/21 ,  G01N 23/22

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開平1-239742
  
• 特開昭61-193787
  
• 特開平3-067450