特許
J-GLOBAL ID：200903024783717184
塗膜の形成方法および装置
発明者：
出願人/特許権者：
,
代理人 (1件)：
筒井 大和
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-114016
公開番号（公開出願番号）：特開平9-298149
出願日： 1996年05月08日
公開日（公表日）： 1997年11月18日
要約：
【要約】【課題】 被塗布物に塗布される被塗布液の膜厚が気圧の変化による影響を受けることなく、膜厚を高い精度で形成し得るようにする。【解決手段】 ウエハWはスピンチャック3により保持されて、モータ1により回転されるようになっている。ウエハWにレジスト液を滴下するノズル5がウエハWに対向しており、このノズル5から滴下されたレジスト液Lは、ウエハWを所定の拡散回転数で回転させることによりウエハWの表面全体に拡散されて塗膜が形成される。塗布雰囲気の大気圧は気圧計7によって検出され、その検出値に基づいて拡散回転数が制御される。これにより、大気圧が変化しても、ウエハWの表面には均一な厚みの塗膜面が形成される。
請求項（抜粋）：
被塗布物の表面に滴下された被塗布液を前記被塗布物を回転させることにより拡散させて前記被塗布物の表面に塗膜を形成する塗膜の形成方法であって、前記被塗布物の表面に前記被塗布液を滴下する滴下工程と、前記被塗布物を所定の拡散回転数で回転させて前記被塗布液を前記被塗布物の表面で拡散させる拡散工程とを有し、大気圧を測定して大気圧に応じて前記拡散回転数を相違させるようにしたことを特徴とする塗膜の形成方法。
IPC (4件)：
H01L 21/027
, B05C 11/08
, B05D 1/40
, G03F 7/16 502
H01L 21/30 564 C
, B05C 11/08
, B05D 1/40 A
, G03F 7/16 502
