特許
J-GLOBAL ID：200903024794487091
縦型炉の冷却装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
三好 祥二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-151609
公開番号（公開出願番号）：特開平7-335581
出願日： 1994年06月09日
公開日（公表日）： 1995年12月22日
要約：
【要約】【目的】縦型炉を冷却する場合に、炉内の上下で降温速度の差が生じることなく急冷でき、ウェーハの位置に拘らず効果的に且均一に冷却が行える様にするものである。【構成】反応管1とヒータ2とが成す空間3上部に排気管4を連通し、該排気管を介して雰囲気ガスを吸引排出する様にした縦型炉の冷却装置に於いて、前記空間に所要数の冷却ノズル19,20を挿設し、該冷却ノズルに冷却源23を接続し、冷却時に前記冷却ノズルより冷却ガスを流入する様にして急速冷却を可能とし、更にヒータに温度調節器を接続してゾーン制御可能にし、反応管内に熱電対14,15,16,17を設け、該熱電対を前記温度調節器18に接続し、前記冷却ノズルに流量コントローラ21,24を設け、冷却状態に応じヒータのゾーン制御を行い、或は冷却ガスの流量制御を行い、均一冷却を可能とする。
請求項（抜粋）：
反応管とヒータとが成す空間上部に排気管を連通し、該排気管を介して雰囲気ガスを吸引排出する様にした縦型炉の冷却装置に於いて、前記空間に所要数の冷却ノズルを挿設し、該冷却ノズルに冷却源を接続し、冷却時に前記冷却ノズルより冷却ガスを流入する様構成したことを特徴とする縦型炉の冷却装置。
IPC (5件)：
H01L 21/22 511
, F27B 5/04
, F27B 5/16
, F27D 9/00
, H01L 21/324
