特許
J-GLOBAL ID：200903024797909701
回転式基板塗布装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
杉谷 勉
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-203935
公開番号（公開出願番号）：特開平9-029159
出願日： 1995年07月17日
公開日（公表日）： 1997年02月04日
要約：
【要約】【目的】 飛散防止カップ内の滞留渦流れを抑制することにより、飛散防止カップ内のミストやパーティクルが基板に付着することを防止することができる回転式基板塗布装置を提供する。【構成】 飛散防止カップの上カップ14は、その水平部14d及び傾斜部14eにスリット状の周囲開口部14cを形成されている。さらに蓋部材17は、上カップ14の周囲開口部14cと同様の周囲開口部17cを形成されている。上カップ14の周囲開口部14cは、蓋部材17が駆動機構18により上カップ14に対して回転されることにより、両周囲開口部14c,17cとが一致されて開放される。この開口部14cから取り込まれる気流によりカップ内の滞留渦流れが解消され、ミストやパーティクルの基板への付着が防止される。
請求項（抜粋）：
基板を略水平姿勢で支持して回転させる支持回転手段の周囲を覆い、かつ、上部中央付近に開口を有するとともに、前記開口から流入する気流を下方へ排気する排気口を有する飛散防止カップを備え、前記開口の上方から基板に塗布液を吐出し、所定の回転処理後に前記支持回転手段と前記飛散防止カップとを相対昇降させて処理した基板を搬出する回転式基板処理装置において、前記飛散防止カップは、その開口の周囲に、気流を取り込む周囲開口部が形成されていることを特徴とする回転式基板塗布装置。
IPC (5件)：
B05C 11/08
, B05C 5/00 101
, B05D 1/40
, G03F 7/16 502
, H01L 21/027
B05C 11/08
, B05C 5/00 101
, B05D 1/40 A
, G03F 7/16 502
, H01L 21/30 564 C
