特許

J-GLOBAL ID：200903024804247965

湿度検出素子およびそれを用いた空気流量測定装置

発明者： 阿部 博幸
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所
代理人 (1件)： 小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-328187
公開番号（公開出願番号）：特開平10-170465
出願日： 1996年12月09日
公開日（公表日）： 1998年06月26日
要約：

【要約】【課題】湿度検出素子表面に水滴が付着するような苛酷環境下でも性能を保証できる信頼性の高い湿度検出素子および湿度検出装置およびそれを用いた空気流量測定装置を提供することにある。【解決手段】絶縁体の基板表面に湿度検出用の電極を形成すると共に、発熱抵抗体を形成し感湿セラミックで覆う構造である。【効果】湿度検出素子表面に水滴が付着しても、発熱抵抗体を加熱することにより湿度測定素子表面の水滴を除去できることにより、内燃機関のような苛酷環境下でも信頼性の高い湿度測定素子および湿度測定装置を提供できうる。

請求項（抜粋）：

絶縁基板と、前記絶縁基板の表面に設けられ、湿度によって抵抗値が変化する電極と、前記電極を覆って設けられた感湿体と、とを備えた湿度検出素子において、前記電極の設けられた側の絶縁基板の表面に発熱抵抗体を設けたことを特徴とする湿度検出素子。