特許
J-GLOBAL ID：200903024805662540
チップピックアップ装置およびチップピックアップ方法ならびにチップ剥離装置およびチップ剥離方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
岩橋 文雄
, 内藤 浩樹
, 永野 大介
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-300044
公開番号（公開出願番号）：特開2007-109936
出願日： 2005年10月14日
公開日（公表日）： 2007年04月26日
要約：
【課題】チップを高速でダメージを与えることなくピックアップすることができるチップピックアップ装置およびチップピックアップ方法ならびにチップ剥離装置およびチップ剥離方法を提供することを目的とする。【解決手段】シート5に貼り付けられたチップ6を取出しノズル20によって吸着保持してピックアップするチップピックアップ装置において、剥離ツール22の上面の当接支持面にゴムなどの可撓性の弾性体を球面状に成形したシート押上部材24を装着し、取出しノズル20の下降状態においてシート押上げ部材24の押上面をシート5の下面に平面状に倣わせて当接させ、取出しノズル20がチップ6とともに上昇する上昇動作において押上面を上に凸形の曲面状に変形させながらシート5の下面を押し上げる。これにより、シート5とチップ6とをチップ外縁側から剥離させることができる。【選択図】図7
請求項（抜粋）：
シートに貼り付けられた板状のチップをピックアップするチップピックアップ装置であって、
前記シートを保持するシート保持部と、ノズル昇降機構によって前記シート保持部に対して相対的に昇降し、前記チップの上面に当接してこのチップを吸着保持するとともに平坦な状態に保つ保持面が設けられた取出しノズルと、前記シート保持部の下方に配設され前記シートの下面に当接して前記チップとシートとの剥離を促進させる剥離促進機構とを備え、
前記剥離促進機構は、前記シートの下面に当接してこのシートを下受け支持する当接支持面が設けられ前記シート保持部に対して相対的に昇降する昇降部と、前記当接支持面において前記チップを下受けするチップ下受け範囲の外側に設けられ前記シートを下面側から吸着保持する吸着孔と、前記当接支持面において前記チップ下受け範囲内に設けられ前記シートの下面に当接してこのシートを押し上げる可撓性の押上面を備えた押上部とを有し、
前記取出しノズルの下降状態において、前記押上部は押上面を前記シートの下面に平面状に倣わせて当接し、前記チップを吸着保持した取出しノズルを上昇させてチップを取り出すチップ取出し動作において、前記押上部が押上面を上に凸形の曲面状に変形させながら前記シートの下面を押し上げることにより、前記シートとチップとをチップ外縁側から剥離させることを特徴とするチップピックアップ装置。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (17件)：
5F031CA13
, 5F031DA15
, 5F031FA05
, 5F031FA11
, 5F031FA12
, 5F031GA23
, 5F031GA32
, 5F031GA42
, 5F031HA53
, 5F031HA78
, 5F031JA04
, 5F031JA22
, 5F031MA35
, 5F031MA40
, 5F031PA20
, 5F047FA04
, 5F047FA08
