特許

J-GLOBAL ID：200903024808497079

共焦点顕微鏡

発明者： 森園 幸太郎
出願人/特許権者： 株式会社キーエンス
代理人 (1件)： 松本 直己
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-191087
公開番号（公開出願番号）：特開2001-021808
出願日： 1999年07月05日
公開日（公表日）： 2001年01月26日
要約：

【要約】【課題】 受光量に相当する出力信号レベルの調節を迅速に行うことができる共焦点顕微鏡を提供する。【解決手段】 増幅器22で増幅された受光素子21の検出信号(受光量データ)は、つなぎ合わせ回路23を経て受光情報メモリ24に入力されると共に検出範囲フィルタ31を経てピークホールドメモリ26に入力される。受光情報メモリ24は測定完了時に画素ごとの最大受光量を共焦点画像データとして記憶している。ピークホールドメモリ26は、測定中の現時点までに入力されたすべての受光量データのうちの最大値(最大受光量データ)を記憶している。この最大受光量データは、リアルタイムで表示装置25に表示される。検出範囲フィルタ31は、測定範囲の一部である設定範囲内の受光量データのみをピークホールドメモリ26に渡す。

請求項（抜粋）：

光源からの光で試料を走査し、前記試料からの反射光又は透過光を受光素子で検出し、その検出値に基づいて試料の共焦点画像又は高さ分布を得る共焦点顕微鏡であって、前記光の走査範囲にわたって前記受光素子の検出値を記憶する受光情報メモリとは別に、前記受光素子の検出値の最大値を記憶するピークホールド記憶手段を備えたことを特徴とする共焦点顕微鏡。

Fターム (5件)：

2H052AA08 ,  2H052AC15 ,  2H052AC28 ,  2H052AF14 ,  2H052AF21