特許

J-GLOBAL ID：200903024816618810

カソードペデスタルのDC電位制御方法及び装置

発明者： リチャード レイモンド メット ,  マーモウド ダヒメン ,  ポール イー. ラスチャー ,  シアマク サリミアン ,  マーク スティーヴン コントレラス
出願人/特許権者： アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド
代理人 (1件)： 長谷川 芳樹 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-283721
公開番号（公開出願番号）：特開平10-223744
出願日： 1997年10月16日
公開日（公表日）： 1998年08月21日
要約：

【要約】【課題】 カソードペデスタルへのDCバイアス電圧をアクティブに制御する装置及び方法。【解決手段】 カソードペデスタルのDC電位を制御するための装置は、カソードペデスタルに結合する可変DC電源と、DC電源に結合して、DC電源に特定のDC電圧を発生させる制御シグナルを発生するための、カソードバイアス制御ユニットとを備え、この制御シグナルは、ワークピースとカソードペデスタルの間のアーク発生電位の指示値に応答して発生する。

請求項（抜粋）：

ワークピース支持に用いられるカソードペデスタルのDC電位を制御するための装置であって、前記カソードペデスタルに結合する可変DC電源と、前記DC電源に結合して、前記DC電源に特定のDC電圧を発生させる制御シグナルを発生するための、カソードバイアス制御ユニットであって、前記制御シグナルは、前記ワークピースと前記カソードペデスタルの間のアーク発生電位の指示値に応答して発生する、前記カソードバイアス制御ユニットとを備える装置。

IPC (5件)：

H01L 21/68 ,  H01L 21/02 ,  B23Q 3/15 ,  H01L 21/205 ,  H01L 21/3065

FI (5件)：

H01L 21/68 R ,  H01L 21/02 Z ,  B23Q 3/15 D ,  H01L 21/205 ,  H01L 21/302 B